IEC Portal de publicacions > Revistes i butlletins

Cerca ràpida
Cerca ràpida per   Ajuda
  Llistat d'articles Registres 1 a 2 (2 registres en total)  

Carcaterització elèctrica del plasma d'una descàrrega de radiofreqüència utilitzada en la fabricació de circuits VLSI

 

 Autor/a: Molinàs i Mata, Pau

Matèries: Descàrregues elèctriques per mitjà de gasos
Plasma (Gasos ionitzats)
Circuits integrats

Descripció física: P. 34-37

Títol de la col·lecció periòdica: Revista de física

Citació Bibliogràfica

 
Article sencer
Article sencer
 

Detecció dels radicals d'un plasma atrapats en una matriu d'argó sòlid

 

 Autor/a: Lloret i Orriols, Antoni

Matèries: Radicals (Química)
Silans
Plasma (Gasos ionitzats)

Descripció física: P. 385 - 392

Títol de la col·lecció periòdica: Butlletí de la Societat Catalana de Ciències Físiques, Químiques i Matemàtiques : segona època

Citació Bibliogràfica / Resum

 
Article sencer
Article sencer
 
Pàgina 1 de 1  
   Primera Anterior
Anar a la pàgina:
Següent Última
-

Dades de l´usuari/ària